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应变式压力传感器和压阻式传感器的转换原理是什么?

人气:362 ℃/2023-12-01 12:53:43

应变式压力传感器:外界的压力(或拉力)引起应变材料的几何形状(长度或宽度)发生改变,进而导致材料的电阻发生变化,检测这个电阻变化量可以测得外力的大小;压阻式压力传感器:半导体压阻式传感器在受到外力后,其晶格参数发生改变,影响到禁带宽度,然后引起载流子密度很大的改变,最终引起材料的电阻率发生改变。可见两种材料虽然都对外力变化呈现出电阻的变化,但原理不同。另外,应变式材料对外力的敏感度远远低于半导体压阻材料,后者的灵敏度是前者的约100倍;应变材料特性受温度影响较小,而半导体压阻材料对温度敏感。

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