一台光刻机多少钱
人气:166 ℃/2024-02-02 18:11:50
一台光刻机多少钱,下面就来给大家详细介绍:
在生产芯片的过程当中,光刻机起到至关重要的作用,光刻机的工艺直接决定了芯片的性能。随着半导体工艺进入7nm以内,EUV光刻机是必不可少的关键设备,全球只有ASML公司能生产,现在NA 0.33孔径的EUV光刻机售价高达1.5亿美元,约合10亿一台,而且下一代会更贵。
现在NA 0.33孔径的EUV光刻机能够量产3nm、2nm工艺,再往后就需要NA 0.55孔径的下一代光刻机,也就是High NA EUV,制造2nm以下的工艺必需。
High NA EUV光刻机不仅是本身昂贵,使用成本也越来越高,因为功耗还会继续涨,ASML最近证实High NA EUV光刻机会额外消耗0.5WM功耗,加上目前的1.5MW功耗,下一代光刻机的总功耗将达到2MW,也就是200万瓦的水平。如果一天24小时运转,那么下代光刻机每天就要消耗4.8万度电,这个成本对芯片制造企业来说是非常高的,绝对的电老虎。
以上就是小编今天的分享了,希望可以帮助到大家。
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